中國(guó)粉體網(wǎng)訊  2月23日，江蘇南通市自然資源和規(guī)劃局發(fā)布，南通三責(zé)精密陶瓷有限公司半導(dǎo)體設(shè)備用高精度結(jié)構(gòu)陶瓷產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目建設(shè)工程規(guī)劃許可證批后公布。

南通三責(zé)精密陶瓷有限公司成立于2017年，研發(fā)和管理總部位于上海。公司主攻五大市場(chǎng)應(yīng)用：精細(xì)化工耐腐蝕換熱/反應(yīng)部件，顯示玻璃制造用精密陶瓷部件，泛半導(dǎo)體用高精度碳化硅部件、新能源鋰離子電池正級(jí)材料設(shè)備用陶瓷部件以及軍工碳化硅陶瓷產(chǎn)品。

公司不斷的加大研發(fā)投入，對(duì)半導(dǎo)體用高純碳化硅材料進(jìn)行了布局，同時(shí)開發(fā)了3D打印、注射成型、凝膠注模成型、高壓注漿成型等各種先進(jìn)成型工藝，并逐步拓展到反應(yīng)燒結(jié)、液相燒結(jié)、重結(jié)晶燒結(jié)碳化硅材料的制備研究，成為碳化硅陶瓷行業(yè)隱形冠軍。

此前，該公司的先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備用高純高精碳化硅陶瓷關(guān)鍵部件的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目被列入“2023年南通市重大科技成果轉(zhuǎn)化計(jì)劃項(xiàng)目擬立項(xiàng)項(xiàng)目名單”。

SiC陶瓷材料往往表現(xiàn)出優(yōu)異的高溫強(qiáng)度、耐腐蝕、高硬度和導(dǎo)熱性能，成為應(yīng)用最廣泛的結(jié)構(gòu)陶瓷材料之一。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，碳化硅材料零部件具備密度高、熱傳導(dǎo)率高、彎曲強(qiáng)度大、彈性模數(shù)大等特性，能夠適應(yīng)晶圓外延、刻蝕等制造環(huán)節(jié)的強(qiáng)腐蝕性、超高溫的惡劣反應(yīng)環(huán)境，因此廣泛應(yīng)用于外延生長(zhǎng)設(shè)備、刻蝕設(shè)備、氧化/擴(kuò)散/退火設(shè)備等主要半導(dǎo)體設(shè)備。

來源：南通市自然資源和規(guī)劃局、南通市新材料產(chǎn)業(yè)商會(huì)

（中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/空青）

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