中國粉體網(wǎng)訊 石英砂在光伏領(lǐng)域的應(yīng)用主要分兩類,一類是光伏玻璃用低鐵砂。一類是光伏用高純石英砂,主要用來制作石英坩堝。作為光伏產(chǎn)業(yè)鏈中的一個耗材,石英坩堝近兩年迎來爆發(fā)期,備受關(guān)注。
石英坩堝的核心原料:高純石英砂
據(jù)歐晶科技招股說明書測算,高純石英砂占石英坩堝成本的62%,是最重要的成本組成部分。目前具備不可替代性。
石英坩堝的主要指標(biāo)包括三個方面:一方面是幾何尺寸。幾何尺寸體現(xiàn)了精加工水平, 由于單晶生產(chǎn)廠家的熱場系統(tǒng)相對固定,因此石英坩堝的幾何尺寸有統(tǒng)一要求。另一方面是外觀。這部分主要是查看石英坩堝內(nèi)部大范圍的裂紋、斑點、劃痕以及石英坩堝透明層氣泡等表面的缺陷。再者就是雜質(zhì)與元素粒子含量、純度,而這主要源自于石英砂材料。
光伏直拉單晶對于石英砂的品質(zhì)需求
拉晶的過程中,石英坩堝內(nèi)部的羥基、雜質(zhì)元素和氣泡的含量將會影響硅棒的質(zhì)量和石英坩堝的使用壽命。如羥基的存在改變了SiO2的鍵合結(jié)構(gòu),致使坩堝的耐溫性能大幅降低,影響坩堝強度;雜質(zhì)的引入對單晶性能和成品率構(gòu)成直接的影響。當(dāng)Al含量過高時會對拉制單晶硅的純度產(chǎn)生影響,當(dāng)Na、K、Li等元素含量高時會使石英坩堝軟化溫度降低,當(dāng)Cu、Mn、Fe等元素含量高時會產(chǎn)生色斑。有害元素總含量高還會產(chǎn)生一些氣泡、白斑等缺陷,造成石英坩堝透明度下降,嚴(yán)重時還影響坩堝成形。
我國對石英原料純度一般是以Al、Fe、Ca、Mg、Ti、Cu、Co、Mn、Ni、Li、Na、K、B13種有害元素來衡量的,要求它們的總和要小于20×10-6,半導(dǎo)體級石英坩堝13種雜質(zhì)元素含量之和小于17ppm。
《單晶硅生長用石英坩堝》(JC/T 1048-2018)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)適用于用高純石英砂做原料,采用電弧法工藝生產(chǎn),應(yīng)用于直拉法生長單晶硅材料的石英坩堝。其中分類,按用途分為太陽能級石英坩堝(T級)和半導(dǎo)體級石英坩堝(B級)。對于石英坩堝的雜質(zhì)元素含量要求如下:
單晶硅生長用石英坩堝的雜質(zhì)元素含量要求(單位為微克每克)
整體而言,高純石英砂是石英坩堝核心原材料,其純度顯著影響拉晶效果。工藝路線能夠改善羥基的含量,但雜質(zhì)與氣泡的含量更多依賴于石英砂本身的純度。
光伏用高純石英砂提純技術(shù)的挑戰(zhàn)
高純石英原料需經(jīng)過一系列的提純工藝最終獲得符合應(yīng)用領(lǐng)域目標(biāo)要求的高純石英砂產(chǎn)品,而高純石英砂所含的雜質(zhì)特征是影響高純石英原料提純的關(guān)鍵因素。
石英中雜質(zhì)的賦存狀態(tài)可分為三類: 脈石礦物類雜質(zhì)、氣液包裹體類雜質(zhì)、類質(zhì)同象類雜質(zhì)。其中氣液包裹體和晶格內(nèi)部類質(zhì)同象雜質(zhì)是制約高純石英產(chǎn)品制備的關(guān)鍵性因素,對直拉單晶硅用石英坩堝的質(zhì)量影響顯著。
目前的解決方案是優(yōu)化氯化焙燒、加壓浸出、二次浮選、微波焙燒等深度提純工藝,以實現(xiàn)高純度石英砂的穩(wěn)定制備。但不同石英原料的礦石性質(zhì)差異較大,提純受礦石的化學(xué)成分、嵌布粒度特征、脈石礦物、包裹體和晶格雜質(zhì)等性質(zhì)的影響,是一項復(fù)雜的系統(tǒng)工程。目前我國已基本實現(xiàn)4N級石英砂的國產(chǎn)化,但高端品供給能力有所欠缺。
未來,需要開發(fā)有效去除Al、Ti以及堿金屬等雜質(zhì)的技術(shù),實現(xiàn)5N以上純度的高純石英砂的穩(wěn)定制備;需要開發(fā)進一步去除氣液包裹體的技術(shù),實現(xiàn)石英坩堝內(nèi)層用高純石英砂的國產(chǎn)替代。
2023年9月15日,中國粉體網(wǎng)聯(lián)合東海縣人民政府將于東?h嘉臣國際大酒店舉辦“2023全國集成電路及光伏用高純石英材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會”,屆時,來自浙江大學(xué)硅及先進半導(dǎo)體材料全國重點實驗室的余學(xué)功教授將作《光伏用高純石英砂的制備及其坩堝應(yīng)用》報告,詳細(xì)講述石英坩堝在光伏領(lǐng)域中的應(yīng)用以及光伏用高純石英砂的制備。
余學(xué)功,男,浙江大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院教授,博士生導(dǎo)師,硅材料國家重點實驗室副主任,國家杰出青年基金獲得者。1999年獲浙江大學(xué)材料自動化專業(yè)學(xué)士學(xué)位,2004年獲得浙江大學(xué)半導(dǎo)體材料專業(yè)工學(xué)博士,2002年10月至2003年9月在日本信州大學(xué)學(xué)習(xí),2004年10月至2007年10月在德國IHP微電子研究所做博士后,2007年11月至2009年2月在美國北卡州立大學(xué)從事助理研究員工作,2009年3月回到浙江大學(xué)。目前擔(dān)任中國光伏行業(yè)協(xié)會理事、中國可再生能源學(xué)會光伏專委會委員、中國電子材料行業(yè)協(xié)會理化分析專家委員會委員、“十三五”科技部氫能與可再生能源科技專項指南專家、Springer-nature Publisher旗下硅材料專業(yè)期刊Silicon的副主編。
主要從事半導(dǎo)體工藝材料的研究,承擔(dān)/主持國家科技支撐計劃重點項目課題、國家重點研發(fā)計劃課題、國家自然科學(xué)基金等項目20多項。曾獲國家技術(shù)發(fā)明二等獎1項、國家自然科學(xué)二等獎1項、省科學(xué)技術(shù)一等獎4項、省科學(xué)技術(shù)二等獎1項。在國際期刊上發(fā)表SCI論文200多篇,引用>3000次;獲國家授權(quán)發(fā)明專利30多項,多項成果實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。
參考資料:
胡澤晨等.石英砂的提純技術(shù)現(xiàn)狀及挑戰(zhàn)
張海啟等.高純石英中雜質(zhì)特征及深度化學(xué)提純技術(shù)研究進展
粉體大數(shù)據(jù)研究
(中國粉體網(wǎng)編輯整理/黑金)
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