中國粉體網(wǎng)訊  以SiC為代表的第三代半導(dǎo)體材料的開發(fā)與應(yīng)用已寫入“十四五規(guī)劃”，國家在三代半領(lǐng)域事業(yè)正如火如荼地推進(jìn)著。隨著航天、航空、石油勘探、核能、汽車等電力電子領(lǐng)域的發(fā)展，尤其是新能源汽車的快速發(fā)展，在國產(chǎn)替代呼聲高漲及政策的推動(dòng)下，我國半導(dǎo)體市場(chǎng)持續(xù)不斷地升溫。目前，我國碳化硅半導(dǎo)體相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)完善工作仍在持續(xù)推進(jìn)。

近日，T/CASAS 025—202X《8英寸碳化硅晶片基準(zhǔn)標(biāo)記及尺寸》等3項(xiàng)系列標(biāo)準(zhǔn)已完成征求意見稿的編制，并于2023年3月22日起開始征求意見，截止日期為2023年4月21日。據(jù)了解，該系列標(biāo)準(zhǔn)由山東大學(xué)、廣州南砂晶圓半導(dǎo)體技術(shù)有限公司、瀚天天成電子科技(廈門)有限公司、廣東天域半導(dǎo)體股份有限公司、紹興中芯集成電路制造股份有限公司、泰科天潤半導(dǎo)體科技（北京）有限公司、杭州海乾半導(dǎo)體有限公司、安徽長飛先進(jìn)半導(dǎo)體有限公司、中電化合物半導(dǎo)體有限公司等單位聯(lián)合起草。

T/CASAS 025—202X《8英寸碳化硅晶片基準(zhǔn)標(biāo)記及尺寸》規(guī)定了8英寸碳化硅單晶切割片、研磨片和拋光片（簡稱“碳化硅晶片”）基準(zhǔn)標(biāo)記及尺寸。適用于4H晶片，產(chǎn)品主要用于制作晶體管、整流器件等。該標(biāo)準(zhǔn)于2022年7月11日正式立項(xiàng)。

T/CASAS 026—202X《碳化硅少數(shù)載流子壽命測(cè)定 微波光電導(dǎo)法》規(guī)定了用微波光電導(dǎo)法測(cè)定碳化硅少數(shù)載流子壽命的方法。標(biāo)準(zhǔn)適用于4~12 英寸碳化硅襯底片和碳化硅外延片。同時(shí)也適用于少數(shù)載流子壽命為20 ns~1 ms 的碳化硅晶片。該項(xiàng)目于2022年11月21日正式立項(xiàng)。

T/CASAS 032—202X《碳化硅晶片表面金屬元素含量的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法》規(guī)定了電感耦合等離子體質(zhì)譜法測(cè)定碳化硅晶片表面金屬元素含量的方法。該標(biāo)準(zhǔn)適用于碳化硅單晶拋光片和碳化硅外延片表面痕量金屬鈉、鋁、鉀、鈣、鈧、鈦、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鋅、銀、鎢、金、汞元素含量的測(cè)定，測(cè)定范圍為108 cm-2~1012 cm-2。適用于4~8 英寸碳化硅晶片，甚至更大尺寸的晶片。同時(shí)也適用于碳化硅退火片等無圖形碳化硅晶片表面痕量金屬元素含量的測(cè)定。該項(xiàng)目于2022年11月21日正式立項(xiàng)。

信息來源：第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/山川）

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