中國(guó)粉體網(wǎng)訊  近日，國(guó)力股份在互動(dòng)平臺(tái)表示，在半導(dǎo)體設(shè)備制造領(lǐng)域，公司的陶瓷高壓真空繼電器、陶瓷真空電容器已應(yīng)用于刻蝕機(jī)等半導(dǎo)體設(shè)備中的匹配器等單元。

國(guó)力股份專業(yè)從事電子真空器件的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售。公司產(chǎn)品系列豐富、型號(hào)眾多，涵蓋真空無(wú)源器件和真空有源器件，目前已經(jīng)研發(fā)生產(chǎn)的真空無(wú)源器件包括陶瓷高壓真空繼電器、陶瓷高壓直流接觸器、交流接觸器、陶瓷真空開(kāi)關(guān)管、陶瓷真空電容器等，真空有源器件包括大功率閘流管、大功率磁控管、大功率速調(diào)管等。

真空繼電器產(chǎn)品

其中，陶瓷高壓真空繼電器是一種控制電路的重要電子真空器件，具備處理高功率的能力，能在高頻、高壓、大電流等苛刻條件下工作。陶瓷真空電容器是一種真空密封的高電壓電容器，產(chǎn)品具有耐壓高、承載電流大、損耗小、壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)，在發(fā)射機(jī)的電路中用于頻率的調(diào)諧以及濾波，在半導(dǎo)體設(shè)備應(yīng)用中調(diào)節(jié)容量實(shí)現(xiàn)高頻電源與負(fù)載阻抗的匹配以獲得最大功率的輸出。這兩種陶瓷器件均可應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域。 

在半導(dǎo)體行業(yè)中，設(shè)備投資占半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)資本支出的60%-70%。作為半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的關(guān)鍵部件，陶瓷部件的研發(fā)生產(chǎn)直接影響著半導(dǎo)體裝備制造業(yè)乃至整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展。可以說(shuō)，陶瓷部件是整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)中的基礎(chǔ)。我國(guó)在半導(dǎo)體設(shè)備用精密陶瓷結(jié)構(gòu)件及陶瓷類電子器件的研發(fā)和應(yīng)用方面起步較晚，在大尺寸、高精度、中空、閉孔、輕量化結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)陶瓷零部件的制備領(lǐng)域有諸多關(guān)鍵技術(shù)問(wèn)題有待突破，此外，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備陶瓷電子器件供應(yīng)商數(shù)量也相對(duì)較少。因此，無(wú)論從經(jīng)濟(jì)安全角度還是產(chǎn)業(yè)成本角度考慮，要突破我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)面臨的“卡脖子”窘境，必須重視陶瓷部件等半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備關(guān)鍵部件的國(guó)產(chǎn)化發(fā)展。

信息來(lái)源：每日經(jīng)濟(jì)新聞、國(guó)力股份官網(wǎng)

（中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/山川）

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