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        【原創(chuàng)】小耗材,大作用!半導(dǎo)體工業(yè)離不開這些石英制品


        來源:中國(guó)粉體網(wǎng)   初末

        [導(dǎo)讀]  石英物理化學(xué)性能穩(wěn)定、耐高溫、耐腐蝕、透光和絕緣性好,是半導(dǎo)體制造過程中不可或缺的原材料。

        中國(guó)粉體網(wǎng)訊  石英物理化學(xué)性能穩(wěn)定、耐高溫、耐腐蝕、透光和絕緣性好,是半導(dǎo)體制造過程中不可或缺的原材料。半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)石英的純度要求極高,在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,無論是提拉法生產(chǎn)單晶硅,還是清洗單晶硅和印制集成電路,都需要用到高純石英砂、硅微粉、多晶硅、石英坩堝和石英玻璃等?梢姡雽(dǎo)體的原料和生產(chǎn)過程都離不開高純石英及其制品。2021年,半導(dǎo)體石英制品占據(jù)石英市場(chǎng)的68%,半導(dǎo)體是石英制品下游市場(chǎng)中占比最大的應(yīng)用領(lǐng)域。


        來源:菲利華官網(wǎng)


        石英制品:半導(dǎo)體行業(yè)的重要基材


        隨著我國(guó)半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,石英制品作為半導(dǎo)體關(guān)鍵材料,其重要性不斷凸顯,是國(guó)家戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)和支柱性產(chǎn)業(yè)發(fā)展中不可替代的高純基礎(chǔ)材料。


        石英材料及其制品在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中的應(yīng)用

        來源:東亞前海證券


        石英制品屬于半導(dǎo)體工藝中的關(guān)鍵耗材。用于半導(dǎo)體的石英玻璃制品具有高純度、無污染、耐高溫等優(yōu)良特性,其應(yīng)用貫穿半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的各個(gè)環(huán)節(jié)?傮w來看,石英制品可用于擴(kuò)散、氧化、沉積、光刻、蝕刻、清洗環(huán)節(jié)等關(guān)鍵過程。從產(chǎn)品結(jié)構(gòu)來看,半導(dǎo)體石英器件、半導(dǎo)體石英基板、半導(dǎo)體石英玻璃(含坩堝)是石英制品在半導(dǎo)體領(lǐng)域的主要產(chǎn)品,三類產(chǎn)品的全球市場(chǎng)規(guī)模大致按4/3/3的占比分布。


        石英玻璃材料及制品在不同工藝環(huán)節(jié)中的應(yīng)用

        來源:普華有策、東亞前海證券


        具體來看,單晶生長(zhǎng)需要用到石英坩堝和石英器件。晶圓加工環(huán)節(jié),刻蝕、擴(kuò)散、氧化、退火等步驟中需要用到大量的輔材石英制品,如石英片、石英環(huán)、石英舟等高純度石英制品。石英玻璃貫穿半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。石英材料和制品行業(yè)位于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的中上游環(huán)節(jié),半導(dǎo)體制程中,擴(kuò)散、氧化、沉積、蝕刻工藝用到石英法蘭、石英擴(kuò)散管、石英鐘罩等石英制品,石英錠、石英管等是上述石英制品的基材;合成石英錠是平板顯示技術(shù)中關(guān)鍵部件光掩膜基板的主基材。


        國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體石英發(fā)展的不足


        近幾年,我國(guó)石英制品的發(fā)展速度有所提升。但國(guó)外石英加工技術(shù)領(lǐng)先于國(guó)內(nèi),并對(duì)國(guó)內(nèi)石英行業(yè)進(jìn)行技術(shù)封鎖,我國(guó)高端石英制品制造技術(shù)仍受制于人,半導(dǎo)體石英的發(fā)展存在著許多不足。


        原材料石英砂供應(yīng)高度壟斷


        從市場(chǎng)情況看,國(guó)內(nèi)高純石英砂呈現(xiàn)高度壟斷的態(tài)勢(shì)。在上游石英砂產(chǎn)業(yè)中,高純石英砂生產(chǎn)與高品質(zhì)礦源密切相關(guān),低品質(zhì)礦源提純較為困難,需要發(fā)掘優(yōu)質(zhì)礦源,或?qū)崿F(xiàn)提純工藝的突破。


        石英制品國(guó)產(chǎn)化率低


        目前國(guó)內(nèi)石英制品主流供應(yīng)商大部分為外資企業(yè),占據(jù)著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體高端石英市場(chǎng)的主要份額。國(guó)內(nèi)石英制品的加工能力相比國(guó)際領(lǐng)先水平還有一定的差距,主要表現(xiàn)為材料純度水平不高、產(chǎn)品質(zhì)量不夠穩(wěn)定、先進(jìn)產(chǎn)品不具備自主生產(chǎn)技術(shù)等。


        進(jìn)入設(shè)備廠商認(rèn)證環(huán)節(jié)難


        因設(shè)備廠商需求的高度定制化,石英制品是高度客戶導(dǎo)向性產(chǎn)業(yè)。打入石英制品原裝市場(chǎng),最重要的就是獲得設(shè)備廠商的認(rèn)證。與晶圓生產(chǎn)類似,石英制品高度強(qiáng)調(diào)產(chǎn)品的精密性和穩(wěn)定性,差之毫厘就會(huì)造成重大損失。因此,石英制品廠商想要打入設(shè)備廠商的供應(yīng)鏈,必須要先邁過設(shè)備廠商的驗(yàn)證關(guān)卡,這對(duì)石英制品廠商的工藝水平、管理水平都是極大的挑戰(zhàn)。


        國(guó)產(chǎn)石英制品利潤(rùn)率較低


        半導(dǎo)體石英制品的驗(yàn)證難,使得國(guó)內(nèi)石英制品廠商的產(chǎn)品大部分用于光伏領(lǐng)域,用于半導(dǎo)體制造的高端產(chǎn)品比重較低。相比于半導(dǎo)體石英制品,光伏石英制品的附加值低,這也導(dǎo)致國(guó)產(chǎn)石英制品整體的利潤(rùn)率低于海外市場(chǎng)。


        半導(dǎo)體石英的市場(chǎng)規(guī)模


        隨著半導(dǎo)體景氣周期帶來的全球晶圓廠規(guī)模擴(kuò)張,與之對(duì)應(yīng)的石英市場(chǎng)也預(yù)期保持同比例的增長(zhǎng)。石英玻璃制品在半導(dǎo)體生產(chǎn)線中屬于硬性消耗品,且隨著晶圓尺寸的增加,在半導(dǎo)體生產(chǎn)線中使用的石英玻璃制品的種類和數(shù)量相應(yīng)增加。2021年全球半導(dǎo)體芯片銷售額為5559億美元,按石英制品規(guī)模與半導(dǎo)體銷售為規(guī)模的比例約為6.6:1000估算,則2021年全球半導(dǎo)體石英制品市場(chǎng)規(guī)模約為 240億元,按半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域市場(chǎng)份額65%測(cè)算,2021年全球石英制品行業(yè)規(guī)模約為369.25億元。其中,美國(guó)市場(chǎng)占比47%,中國(guó)市場(chǎng)約占全球半導(dǎo)體銷售額的1/3,因此國(guó)內(nèi)石英制品2021年的市場(chǎng)需求約為123.08億元。


        國(guó)內(nèi)主要半導(dǎo)體石英廠商


        菲利華



        湖北菲利華石英玻璃股份有限公司現(xiàn)為國(guó)內(nèi)外具有較大影響力和規(guī)模優(yōu)勢(shì)的石英材料及石英纖維制造企業(yè)。公司立足石英玻璃材料領(lǐng)域,同時(shí)不斷向上游石英砂和下游石英制品領(lǐng)域延伸,下游主要覆蓋半導(dǎo)體、航空航天、光通信、光學(xué)四大應(yīng)用領(lǐng)域。


        氣熔石英方面,公司已經(jīng)通過三大半導(dǎo)體設(shè)備商認(rèn)證;電熔石英材料已研發(fā)成功送樣客戶并得到認(rèn)可,上海石創(chuàng)的石英玻璃器件加工通過中微認(rèn)證;合成石英方面,截至2022H1,公司10.5代TFT-LCD光掩膜基板已研發(fā)成功,具備量產(chǎn)能力。


        2021年12月,公司子公司上海石創(chuàng)在湖北省荊州市荊州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)投資建設(shè)半導(dǎo)體用高純石英制品加工項(xiàng)目,有助于提升半導(dǎo)體石英器件加工制造領(lǐng)域的生產(chǎn)能力,擴(kuò)大有效產(chǎn)能。


        石英股份



        江蘇太平洋石英股份有限公司是一家集科研、生產(chǎn)、銷售為一體的高端石英材料深加工企業(yè)。經(jīng)過三十年的創(chuàng)新發(fā)展,公司現(xiàn)已成為中國(guó)石英材料行業(yè)中的標(biāo)桿企業(yè)。主導(dǎo)產(chǎn)品有高純石英砂、石英管(棒)、大口徑石英擴(kuò)散管、石英筒、石英錠、石英板等及多種石英器件。半導(dǎo)體產(chǎn)品有半導(dǎo)體級(jí)石英管、半導(dǎo)體級(jí)石英棒、半導(dǎo)體級(jí)石英筒、半導(dǎo)體級(jí)石英錠、半導(dǎo)體級(jí)石英板、石英陶瓷圓坩堝、半導(dǎo)體級(jí)石英砂等。


        石英股份連熔法生產(chǎn)的系列產(chǎn)品如石英大管、石英棒、石英大板、石英筒,均已通過半導(dǎo)體廠商認(rèn)證,技術(shù)國(guó)際領(lǐng)先。公司加大推進(jìn)電子級(jí)半導(dǎo)體石英產(chǎn)品的認(rèn)證工作,在通過東京電子高溫?cái)U(kuò)散領(lǐng)域認(rèn)證后,又相繼通過東京電子刻蝕領(lǐng)域和美國(guó)LAM刻蝕認(rèn)證,美國(guó)應(yīng)用材料認(rèn)證也持續(xù)取得階段性進(jìn)展。2022年上半年半導(dǎo)體板塊石英產(chǎn)品銷售實(shí)現(xiàn)了快速增長(zhǎng),市場(chǎng)影響力逐步擴(kuò)大。


        凱德石英


        凱德石英是一家有著二十多年歷史的石英產(chǎn)品加工企業(yè),經(jīng)過多年的持續(xù)發(fā)展,目前已建立起一套成熟高效的研發(fā)和創(chuàng)新體系,技術(shù)水平處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先級(jí)別。公司主營(yíng)業(yè)務(wù)為石英儀器、石英管道、石英舟等石英玻璃制品的生產(chǎn)、研發(fā)和銷售;公司產(chǎn)品作為下游企業(yè)的生產(chǎn)耗材,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路芯片領(lǐng)域、光伏太陽能行業(yè)領(lǐng)域及其他領(lǐng)域。


        凱德石英半導(dǎo)體用石英儀器

        來源:凱德石英招股說明書、安信證券


        凱德石英半導(dǎo)體用石英儀器

        來源:凱德石英公開發(fā)行說明書、安信證券


        公司半導(dǎo)體用石英制品,主要有石英舟、石英管道、石英儀器三個(gè)類別,具有高純、耐高溫、化學(xué)穩(wěn)定性好的特點(diǎn),主要應(yīng)用的環(huán)節(jié)有氧化、擴(kuò)散、化學(xué)氣相沉積(CVD)、清洗、刻蝕。


        參考來源:

        王九一.高純石英——二氧化硅中的大熊貓

        顏玲亞.中國(guó)高純石英資源開發(fā)利用現(xiàn)狀及供需形勢(shì)

        芯謀研究.國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體石英制品市場(chǎng)發(fā)展情況

        普華有策.石英材料制品行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈結(jié)構(gòu)及細(xì)分市場(chǎng)應(yīng)用情況

        菲利華官網(wǎng)、凱德石英年度報(bào)告、石英股份年度報(bào)告、開源證券、安信證券、民生證券、東亞前海證券


        (中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/初末)

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        作者:初末

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