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        漢京半導(dǎo)體完成數(shù)千萬融資,加速半導(dǎo)體設(shè)備用碳化硅部件研發(fā)


        來源:中國粉體網(wǎng)   山川

        [導(dǎo)讀]  漢京半導(dǎo)體完成數(shù)千萬融資,加速半導(dǎo)體設(shè)備用碳化硅部件研發(fā)。

        中國粉體網(wǎng)訊  近日,遼寧漢京半導(dǎo)體材料有限公司宣布完成數(shù)千萬元天使輪融資,由浙商創(chuàng)投獨(dú)家投資。本輪融資將主要用于半導(dǎo)體設(shè)備用碳化硅制品的研發(fā)投入、和設(shè)備采購等。


        作為半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的關(guān)鍵部件,精密陶瓷部件的研發(fā)生產(chǎn)直接影響著半導(dǎo)體裝備制造業(yè)乃至整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展。與其它陶瓷材料相比,碳化硅陶瓷具有低密度、高強(qiáng)度、高硬度、高彈性模量、高比剛度、高耐磨的特點(diǎn),同時(shí)它的導(dǎo)熱系數(shù)比較高、熱變性系數(shù)較低,隨溫度變化不易出現(xiàn)變形情況,這也是碳化硅材料在半導(dǎo)體裝備中被大量應(yīng)用的主要原因。


        碳化硅吸盤,高純碳化硅晶舟(圖片來源:中國建材總院)


        在今年由中國粉體網(wǎng)主辦的“第一屆半導(dǎo)體行業(yè)用陶瓷材料技術(shù)研討會(huì)”上,據(jù)中國建筑材料科學(xué)研究總院的劉海林所長接受采訪時(shí)介紹,碳化硅陶瓷在半導(dǎo)體制造的前段到后段工藝裝備中都有廣泛應(yīng)用,例如在研磨拋光吸盤、光刻吸盤、檢測吸盤、精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、刻蝕環(huán)節(jié)的高純碳化硅部件、封裝檢測環(huán)節(jié)中精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)等等,都有碳化硅陶瓷的應(yīng)用。


        據(jù)悉,漢京半導(dǎo)體成立于2022年6月,是一家專業(yè)從事SiC(碳化硅)燒結(jié)、CVD涂層、精加工生產(chǎn)、檢驗(yàn)、銷售為一體的高精端企業(yè)。其自主研發(fā)的半導(dǎo)體設(shè)備用碳化硅制品在客戶端已正式通過客戶測試認(rèn)證。


        截至今年10月,漢京半導(dǎo)體已初步建成以SiC Tube、SiC Boat、SiC Cap、SiC Fin、SiC Ring為主體的產(chǎn)品線,下一步將繼續(xù)加大研發(fā)力度,滿足半導(dǎo)體行業(yè)需求。


        參考來源:化合物半導(dǎo)體市場、中國粉體網(wǎng)


        (中國粉體網(wǎng)編輯整理/山川)

        注:圖片非商業(yè)用途,存在侵權(quán)告知?jiǎng)h除


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        作者:山川

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