日前，成都理工大學(xué)自行研制的“一種用天然粉石英制備高純球形納米非晶態(tài)硅微粉的方法”獲得國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專(zhuān)利申請(qǐng)，并已進(jìn)入專(zhuān)利公開(kāi)階段。該專(zhuān)利以價(jià)格低廉的天然優(yōu)質(zhì)粉石英礦物為基本原料，采用溶膠－凝膠技術(shù)，在分散劑和球形催化劑存在條件下制備了符合電子封裝材料要求的高純球形納米非晶態(tài)硅微粉，標(biāo)明我國(guó)球形硅微粉研究又獲得了新進(jìn)展。
隨著我國(guó)微電子工業(yè)的迅猛發(fā)展，大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路對(duì)封裝材料的要求也越來(lái)越高，不僅要求其超細(xì)，而且要求高純度，特別是對(duì)于顆粒形狀提出球形化要求。但制備球形硅微粉是一項(xiàng)跨學(xué)科高難度工程，世界上只有美國(guó)、日本、德國(guó)、加拿大和俄羅斯等少數(shù)國(guó)家掌握此技術(shù)。世界一些著名公司如德國(guó)的迪高沙公司、美國(guó)的BASF公司、日本的Aerosil公司和川崎鋼鐵公司均已投入生產(chǎn)。
球形硅微粉主要用于大規(guī)模集成電路封裝，在航空、航天、精細(xì)化工、可擦寫(xiě)光盤(pán)、大面積電子基板、特種陶瓷以及日用化妝品等高新技術(shù)領(lǐng)域也使用這種產(chǎn)品，市場(chǎng)前景廣闊。專(zhuān)家預(yù)計(jì)到2010年僅我國(guó)對(duì)球形硅微粉的需求即達(dá)2萬(wàn)～3萬(wàn)t，高純硅微粉為10萬(wàn)t，其增長(zhǎng)率均超過(guò)20%。世界對(duì)球形硅微粉的需求量將超過(guò)30萬(wàn)噸，價(jià)值數(shù)百億元。
研發(fā)工作如火如荼
為了打破國(guó)外生產(chǎn)廠商對(duì)我國(guó)球形硅微粉的生產(chǎn)技術(shù)與專(zhuān)用設(shè)備的引進(jìn)實(shí)行嚴(yán)密封鎖與壟斷的局面，自“十五”計(jì)劃開(kāi)始，據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，我國(guó)就有20多家研究單位即著手攻關(guān)，在高純超細(xì)球形石英粉（簡(jiǎn)稱(chēng)球形硅微粉）制備技術(shù)研究領(lǐng)域取得了突破性進(jìn)展，尤其是近5年來(lái)，更是碩果累累。中科院過(guò)程工程研究所研制成功了高純球形硅微粉制備新工藝；湖北省建材研究設(shè)計(jì)院與清華大學(xué)材料系合作開(kāi)展高純超細(xì)球形化硅微粉研究已通過(guò)省級(jí)鑒定；武漢大學(xué)采用化學(xué)合成技術(shù)制備球形硅微粉，技術(shù)指標(biāo)相當(dāng)于日本Nippon Shokuba公司目前KE-P系列產(chǎn)品的水平，該技術(shù)已于2002年8月獲發(fā)明專(zhuān)利；湖北省建筑材料工業(yè)研究設(shè)計(jì)院的EC型高純超細(xì)球形硅微粉獲2002年國(guó)家重點(diǎn)新產(chǎn)品證書(shū)；浙江省第九地質(zhì)大隊(duì)的“氧氣－乙炔混合高溫火焰制備球形硅微粉”項(xiàng)目，2003年12月通過(guò)科技項(xiàng)目驗(yàn)收，為中試打下了基礎(chǔ)；湖北武漢帥爾光電子粉體新材料有限公司的“超大規(guī)模集成電路封裝料用球形硅微粉”項(xiàng)目和四川省綿陽(yáng)市三慧硅質(zhì)材料有限公司的“高純超細(xì)球形硅微粉成型技術(shù)”項(xiàng)目均列入了2003年國(guó)家科技創(chuàng)新基金項(xiàng)目；云南超微新材料有限責(zé)任公司的“高溫熔融方法生產(chǎn)球形熔融硅微粉”項(xiàng)目進(jìn)入2004年國(guó)家新材料高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化專(zhuān)項(xiàng)；蚌埠玻璃工業(yè)設(shè)計(jì)研究院華海公司以美、日硅質(zhì)新品為目標(biāo)，從工藝方法、生產(chǎn)設(shè)備等各方面進(jìn)行探索，開(kāi)展球形硅微粉的開(kāi)發(fā)研究工作，取得了階段性成果。2005年年初，海南省地質(zhì)勘查局粉體材料工程技術(shù)研究中心以精選的結(jié)晶型石英砂為原料，開(kāi)展振動(dòng)細(xì)磨、超細(xì)分級(jí)、酸洗提純、機(jī)械預(yù)整形和高溫整形等一系列科研實(shí)驗(yàn)活動(dòng)，成功制成球形硅微粉，產(chǎn)品適用于電子塑封材料。2005年8月，江蘇省連云港市晶瑞石英工業(yè)開(kāi)發(fā)研究院承擔(dān)的“高頻等離子制備球形硅微粉關(guān)鍵技術(shù)及產(chǎn)品”通過(guò)了部級(jí)鑒定。該項(xiàng)目采用獨(dú)立自主研發(fā)成功的高頻等離子制備球形硅微粉成套技術(shù)，已建成50t/a中試生產(chǎn)線。產(chǎn)品的二氧化硅含量、純度，球化率、粒度分布，電導(dǎo)率等均達(dá)到國(guó)外同類(lèi)產(chǎn)品的技術(shù)指標(biāo)。該項(xiàng)目的技術(shù)水平居國(guó)內(nèi)領(lǐng)先，產(chǎn)品的主要性能達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。
今年以來(lái)，捷報(bào)頻傳——
★今年3月29日，目前國(guó)內(nèi)產(chǎn)量最大、品種最全的硅微粉生產(chǎn)企業(yè)，連云港東海硅微粉有限責(zé)任公司承擔(dān)的江蘇省科技招標(biāo)項(xiàng)目――微米級(jí)集成電路用化學(xué)合成球型硅微粉通過(guò)江蘇省科技廳主持的科技成果鑒定。該項(xiàng)目的完成打破了國(guó)外在化學(xué)合成球型硅微粉領(lǐng)域的壟斷地位，技術(shù)和工藝設(shè)備達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白。
★今年年7月2～3日，中國(guó)凱盛國(guó)際工程有限公司與蚌埠玻璃工業(yè)設(shè)計(jì)研究院聯(lián)合研究的“高純球形石英粉產(chǎn)品工業(yè)化制備技術(shù)及專(zhuān)用生產(chǎn)設(shè)備開(kāi)發(fā)”項(xiàng)目通過(guò)鑒定。鑒定委員會(huì)認(rèn)為：該項(xiàng)目技術(shù)、設(shè)備為國(guó)內(nèi)首創(chuàng)，產(chǎn)品的球形化率、玻璃化率和分散性等主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。1、該項(xiàng)目采用火焰法成功將角形石英粉制成球形石英粉，成球率達(dá)98%以上，產(chǎn)率90%以上，玻璃化率95%以上。通過(guò)調(diào)節(jié)各種工藝參數(shù)用同一套設(shè)備可生產(chǎn)出不同粒度的球形石英粉。2、采用純氧作為輸送介質(zhì)向成型爐中輸送角形石英粉原料，保證了輸送介質(zhì)不對(duì)火焰的穩(wěn)定性造成影響；通過(guò)變徑引射方法解決了粉料在輸送過(guò)程中的團(tuán)聚問(wèn)題，保證了粉料的充分分散。3、自主研發(fā)設(shè)計(jì)、制造出了球形石英粉工業(yè)生產(chǎn)專(zhuān)用成套設(shè)備，設(shè)計(jì)并實(shí)施了雙系統(tǒng)安全連鎖控制，提高了系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)安全性。4、該項(xiàng)目技術(shù)可靠，實(shí)現(xiàn)了工業(yè)化連續(xù)穩(wěn)定生產(chǎn)，已經(jīng)形成450t/a的生產(chǎn)規(guī)模；產(chǎn)品經(jīng)用戶使用證明，可以替代進(jìn)口產(chǎn)品。
項(xiàng)目建設(shè)方興未艾
目前，我國(guó)硅微粉生產(chǎn)企業(yè)幾乎全部套用非礦工業(yè)的常規(guī)加工設(shè)備，包括粉碎、分級(jí)、干燥等，在工藝過(guò)程中，缺乏系統(tǒng)的控制手段，也有個(gè)別企業(yè)采取簡(jiǎn)單的在線監(jiān)視與離線控制措施，但仍然解決不了根本問(wèn)題。至于生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度更令人憂心。所以致使我國(guó)硅微粉產(chǎn)品的純度、粒度以及產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性差，始終無(wú)法與國(guó)外的進(jìn)口產(chǎn)品抗衡。
我國(guó)盛產(chǎn)石英，并且礦源分布較廣，在全國(guó)范圍內(nèi)的大小硅微粉廠不下近百家，基本上都屬于鄉(xiāng)鎮(zhèn)企業(yè)。這些生產(chǎn)企業(yè)大多為規(guī)模小、品種單一、設(shè)備簡(jiǎn)陋、工藝粗放，不具備產(chǎn)品深加工能力，真正能夠生產(chǎn)高純、超微硅微粉的很少。這些生產(chǎn)廠家主要分布于江蘇省連云港市、徐州市、浙江省湖州以及河北、青海等地的鄉(xiāng)鎮(zhèn)。其主打產(chǎn)品集中在600目以下。使用領(lǐng)域一般為冶金、陶瓷、電工產(chǎn)品填料以及電子分立元件的封裝等。
因此，為了搶占高端市場(chǎng)，我國(guó)有眼光的企業(yè)紛紛上馬建設(shè)球形硅微粉項(xiàng)目。
——山西省長(zhǎng)治市莊益通硅業(yè)有限公司的電子級(jí)球形硅微粉項(xiàng)目，屬?lài)?guó)家“八六三”重點(diǎn)科研攻關(guān)項(xiàng)目，總投資5200萬(wàn)元，今年上半年投產(chǎn)，年產(chǎn)電子級(jí)球形硅微粉1000t；
——重慶市錦藝硅材料開(kāi)發(fā)有限公司首期5萬(wàn)噸硅微粉項(xiàng)目今年7月1日投產(chǎn)。該項(xiàng)目是重慶市“十一五”發(fā)展的重點(diǎn)項(xiàng)目，也是云陽(yáng)縣“十一五”規(guī)劃中重點(diǎn)培育的項(xiàng)目。屆時(shí)，人和工業(yè)園區(qū)將建設(shè)成為具有20萬(wàn)t硅微粉、5000t球形硅微粉、2000t多晶硅生產(chǎn)線為核心項(xiàng)目的西部硅產(chǎn)業(yè)基地。
——黑龍江省通河縣寶通石英產(chǎn)品有限公司引進(jìn)江蘇省連云港市晶瑞石英工業(yè)開(kāi)發(fā)研究院開(kāi)發(fā)的高頻等離子制備球形硅微粉關(guān)鍵技術(shù)及產(chǎn)品，總投資8700萬(wàn)元，年產(chǎn)球形硅微粉1000t，截止今年8月已完成前期準(zhǔn)備工作。
——江西省遂川縣招商局預(yù)計(jì)總投資10860萬(wàn)元，興建高純和球形硅微粉加工廠及生產(chǎn)線5條，形成年產(chǎn)高純和球形硅微粉4000t的能力，截止今年8月，已探明多處硅石儲(chǔ)藏點(diǎn)，并已編制可研報(bào)告。
——湖北荊化實(shí)業(yè)股份有限公司引進(jìn)武漢大學(xué)最新研制的低應(yīng)力環(huán)氧塑封料球形硅微粉技術(shù)，該項(xiàng)目開(kāi)發(fā)完成后，可形成4000t生產(chǎn)能力，年創(chuàng)產(chǎn)值1.2億元。（吳宏富）
隨著我國(guó)微電子工業(yè)的迅猛發(fā)展，大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路對(duì)封裝材料的要求也越來(lái)越高，不僅要求其超細(xì)，而且要求高純度，特別是對(duì)于顆粒形狀提出球形化要求。但制備球形硅微粉是一項(xiàng)跨學(xué)科高難度工程，世界上只有美國(guó)、日本、德國(guó)、加拿大和俄羅斯等少數(shù)國(guó)家掌握此技術(shù)。世界一些著名公司如德國(guó)的迪高沙公司、美國(guó)的BASF公司、日本的Aerosil公司和川崎鋼鐵公司均已投入生產(chǎn)。
球形硅微粉主要用于大規(guī)模集成電路封裝，在航空、航天、精細(xì)化工、可擦寫(xiě)光盤(pán)、大面積電子基板、特種陶瓷以及日用化妝品等高新技術(shù)領(lǐng)域也使用這種產(chǎn)品，市場(chǎng)前景廣闊。專(zhuān)家預(yù)計(jì)到2010年僅我國(guó)對(duì)球形硅微粉的需求即達(dá)2萬(wàn)～3萬(wàn)t，高純硅微粉為10萬(wàn)t，其增長(zhǎng)率均超過(guò)20%。世界對(duì)球形硅微粉的需求量將超過(guò)30萬(wàn)噸，價(jià)值數(shù)百億元。
研發(fā)工作如火如荼
為了打破國(guó)外生產(chǎn)廠商對(duì)我國(guó)球形硅微粉的生產(chǎn)技術(shù)與專(zhuān)用設(shè)備的引進(jìn)實(shí)行嚴(yán)密封鎖與壟斷的局面，自“十五”計(jì)劃開(kāi)始，據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，我國(guó)就有20多家研究單位即著手攻關(guān)，在高純超細(xì)球形石英粉（簡(jiǎn)稱(chēng)球形硅微粉）制備技術(shù)研究領(lǐng)域取得了突破性進(jìn)展，尤其是近5年來(lái)，更是碩果累累。中科院過(guò)程工程研究所研制成功了高純球形硅微粉制備新工藝；湖北省建材研究設(shè)計(jì)院與清華大學(xué)材料系合作開(kāi)展高純超細(xì)球形化硅微粉研究已通過(guò)省級(jí)鑒定；武漢大學(xué)采用化學(xué)合成技術(shù)制備球形硅微粉，技術(shù)指標(biāo)相當(dāng)于日本Nippon Shokuba公司目前KE-P系列產(chǎn)品的水平，該技術(shù)已于2002年8月獲發(fā)明專(zhuān)利；湖北省建筑材料工業(yè)研究設(shè)計(jì)院的EC型高純超細(xì)球形硅微粉獲2002年國(guó)家重點(diǎn)新產(chǎn)品證書(shū)；浙江省第九地質(zhì)大隊(duì)的“氧氣－乙炔混合高溫火焰制備球形硅微粉”項(xiàng)目，2003年12月通過(guò)科技項(xiàng)目驗(yàn)收，為中試打下了基礎(chǔ)；湖北武漢帥爾光電子粉體新材料有限公司的“超大規(guī)模集成電路封裝料用球形硅微粉”項(xiàng)目和四川省綿陽(yáng)市三慧硅質(zhì)材料有限公司的“高純超細(xì)球形硅微粉成型技術(shù)”項(xiàng)目均列入了2003年國(guó)家科技創(chuàng)新基金項(xiàng)目；云南超微新材料有限責(zé)任公司的“高溫熔融方法生產(chǎn)球形熔融硅微粉”項(xiàng)目進(jìn)入2004年國(guó)家新材料高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化專(zhuān)項(xiàng)；蚌埠玻璃工業(yè)設(shè)計(jì)研究院華海公司以美、日硅質(zhì)新品為目標(biāo)，從工藝方法、生產(chǎn)設(shè)備等各方面進(jìn)行探索，開(kāi)展球形硅微粉的開(kāi)發(fā)研究工作，取得了階段性成果。2005年年初，海南省地質(zhì)勘查局粉體材料工程技術(shù)研究中心以精選的結(jié)晶型石英砂為原料，開(kāi)展振動(dòng)細(xì)磨、超細(xì)分級(jí)、酸洗提純、機(jī)械預(yù)整形和高溫整形等一系列科研實(shí)驗(yàn)活動(dòng)，成功制成球形硅微粉，產(chǎn)品適用于電子塑封材料。2005年8月，江蘇省連云港市晶瑞石英工業(yè)開(kāi)發(fā)研究院承擔(dān)的“高頻等離子制備球形硅微粉關(guān)鍵技術(shù)及產(chǎn)品”通過(guò)了部級(jí)鑒定。該項(xiàng)目采用獨(dú)立自主研發(fā)成功的高頻等離子制備球形硅微粉成套技術(shù)，已建成50t/a中試生產(chǎn)線。產(chǎn)品的二氧化硅含量、純度，球化率、粒度分布，電導(dǎo)率等均達(dá)到國(guó)外同類(lèi)產(chǎn)品的技術(shù)指標(biāo)。該項(xiàng)目的技術(shù)水平居國(guó)內(nèi)領(lǐng)先，產(chǎn)品的主要性能達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。
今年以來(lái)，捷報(bào)頻傳——
★今年3月29日，目前國(guó)內(nèi)產(chǎn)量最大、品種最全的硅微粉生產(chǎn)企業(yè)，連云港東海硅微粉有限責(zé)任公司承擔(dān)的江蘇省科技招標(biāo)項(xiàng)目――微米級(jí)集成電路用化學(xué)合成球型硅微粉通過(guò)江蘇省科技廳主持的科技成果鑒定。該項(xiàng)目的完成打破了國(guó)外在化學(xué)合成球型硅微粉領(lǐng)域的壟斷地位，技術(shù)和工藝設(shè)備達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白。
★今年年7月2～3日，中國(guó)凱盛國(guó)際工程有限公司與蚌埠玻璃工業(yè)設(shè)計(jì)研究院聯(lián)合研究的“高純球形石英粉產(chǎn)品工業(yè)化制備技術(shù)及專(zhuān)用生產(chǎn)設(shè)備開(kāi)發(fā)”項(xiàng)目通過(guò)鑒定。鑒定委員會(huì)認(rèn)為：該項(xiàng)目技術(shù)、設(shè)備為國(guó)內(nèi)首創(chuàng)，產(chǎn)品的球形化率、玻璃化率和分散性等主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。1、該項(xiàng)目采用火焰法成功將角形石英粉制成球形石英粉，成球率達(dá)98%以上，產(chǎn)率90%以上，玻璃化率95%以上。通過(guò)調(diào)節(jié)各種工藝參數(shù)用同一套設(shè)備可生產(chǎn)出不同粒度的球形石英粉。2、采用純氧作為輸送介質(zhì)向成型爐中輸送角形石英粉原料，保證了輸送介質(zhì)不對(duì)火焰的穩(wěn)定性造成影響；通過(guò)變徑引射方法解決了粉料在輸送過(guò)程中的團(tuán)聚問(wèn)題，保證了粉料的充分分散。3、自主研發(fā)設(shè)計(jì)、制造出了球形石英粉工業(yè)生產(chǎn)專(zhuān)用成套設(shè)備，設(shè)計(jì)并實(shí)施了雙系統(tǒng)安全連鎖控制，提高了系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)安全性。4、該項(xiàng)目技術(shù)可靠，實(shí)現(xiàn)了工業(yè)化連續(xù)穩(wěn)定生產(chǎn)，已經(jīng)形成450t/a的生產(chǎn)規(guī)模；產(chǎn)品經(jīng)用戶使用證明，可以替代進(jìn)口產(chǎn)品。
項(xiàng)目建設(shè)方興未艾
目前，我國(guó)硅微粉生產(chǎn)企業(yè)幾乎全部套用非礦工業(yè)的常規(guī)加工設(shè)備，包括粉碎、分級(jí)、干燥等，在工藝過(guò)程中，缺乏系統(tǒng)的控制手段，也有個(gè)別企業(yè)采取簡(jiǎn)單的在線監(jiān)視與離線控制措施，但仍然解決不了根本問(wèn)題。至于生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度更令人憂心。所以致使我國(guó)硅微粉產(chǎn)品的純度、粒度以及產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性差，始終無(wú)法與國(guó)外的進(jìn)口產(chǎn)品抗衡。
我國(guó)盛產(chǎn)石英，并且礦源分布較廣，在全國(guó)范圍內(nèi)的大小硅微粉廠不下近百家，基本上都屬于鄉(xiāng)鎮(zhèn)企業(yè)。這些生產(chǎn)企業(yè)大多為規(guī)模小、品種單一、設(shè)備簡(jiǎn)陋、工藝粗放，不具備產(chǎn)品深加工能力，真正能夠生產(chǎn)高純、超微硅微粉的很少。這些生產(chǎn)廠家主要分布于江蘇省連云港市、徐州市、浙江省湖州以及河北、青海等地的鄉(xiāng)鎮(zhèn)。其主打產(chǎn)品集中在600目以下。使用領(lǐng)域一般為冶金、陶瓷、電工產(chǎn)品填料以及電子分立元件的封裝等。
因此，為了搶占高端市場(chǎng)，我國(guó)有眼光的企業(yè)紛紛上馬建設(shè)球形硅微粉項(xiàng)目。
——山西省長(zhǎng)治市莊益通硅業(yè)有限公司的電子級(jí)球形硅微粉項(xiàng)目，屬?lài)?guó)家“八六三”重點(diǎn)科研攻關(guān)項(xiàng)目，總投資5200萬(wàn)元，今年上半年投產(chǎn)，年產(chǎn)電子級(jí)球形硅微粉1000t；
——重慶市錦藝硅材料開(kāi)發(fā)有限公司首期5萬(wàn)噸硅微粉項(xiàng)目今年7月1日投產(chǎn)。該項(xiàng)目是重慶市“十一五”發(fā)展的重點(diǎn)項(xiàng)目，也是云陽(yáng)縣“十一五”規(guī)劃中重點(diǎn)培育的項(xiàng)目。屆時(shí)，人和工業(yè)園區(qū)將建設(shè)成為具有20萬(wàn)t硅微粉、5000t球形硅微粉、2000t多晶硅生產(chǎn)線為核心項(xiàng)目的西部硅產(chǎn)業(yè)基地。
——黑龍江省通河縣寶通石英產(chǎn)品有限公司引進(jìn)江蘇省連云港市晶瑞石英工業(yè)開(kāi)發(fā)研究院開(kāi)發(fā)的高頻等離子制備球形硅微粉關(guān)鍵技術(shù)及產(chǎn)品，總投資8700萬(wàn)元，年產(chǎn)球形硅微粉1000t，截止今年8月已完成前期準(zhǔn)備工作。
——江西省遂川縣招商局預(yù)計(jì)總投資10860萬(wàn)元，興建高純和球形硅微粉加工廠及生產(chǎn)線5條，形成年產(chǎn)高純和球形硅微粉4000t的能力，截止今年8月，已探明多處硅石儲(chǔ)藏點(diǎn)，并已編制可研報(bào)告。
——湖北荊化實(shí)業(yè)股份有限公司引進(jìn)武漢大學(xué)最新研制的低應(yīng)力環(huán)氧塑封料球形硅微粉技術(shù)，該項(xiàng)目開(kāi)發(fā)完成后，可形成4000t生產(chǎn)能力，年創(chuàng)產(chǎn)值1.2億元。（吳宏富）
