中國粉體網(wǎng)訊  近年來國內(nèi)半導(dǎo)體制造產(chǎn)能不斷擴(kuò)張，半導(dǎo)體設(shè)備廠商加速成長。我們認(rèn)為下游發(fā)展將拉動(dòng)上游本地化配套需求，半導(dǎo)體設(shè)備零部件迎來高增長階段。

半導(dǎo)體設(shè)備零部件包含密封圈、EFEM、射頻電源、靜電吸盤、硅電極、真空泵、氣體流量計(jì)、噴淋頭等產(chǎn)品，可分為機(jī)械類、電氣類、機(jī)電一體類、光學(xué)類等類別。結(jié)合芯謀研究，我們測算2020年全球半導(dǎo)體設(shè)備零部件市場規(guī)模300-350億美元，其中機(jī)械類零部件價(jià)值占比最大。

半導(dǎo)體設(shè)備零部件存在一定技術(shù)壁壘，要求相關(guān)企業(yè)具備精密加工、表面處理等能力，認(rèn)證過程也較為復(fù)雜。尤其是在機(jī)械手、真空規(guī)、部分光學(xué)類零部件等領(lǐng)域，國內(nèi)企業(yè)和海外頭部企業(yè)仍然存在顯著的技術(shù)差距。

近年來，國內(nèi)企業(yè)在鈑金件、金屬件、腔體等機(jī)械類零部件領(lǐng)域已經(jīng)完成了一定程度的國產(chǎn)化，我們測算其國產(chǎn)化率超過50%，部分企業(yè)甚至進(jìn)入海外頭部廠商供應(yīng)鏈。但海外半導(dǎo)體設(shè)備零部件廠商憑借先發(fā)優(yōu)勢依然在全球零部件市場領(lǐng)域占據(jù)主導(dǎo)地位，一些領(lǐng)域零部件的國產(chǎn)化率仍低于10%。

晶圓廠需采購石英件、射頻發(fā)生器、泵等隨高強(qiáng)度生產(chǎn)易損耗的零部件進(jìn)行替換，這部分零部件以機(jī)械類為主。根據(jù)芯謀研究，2020年全球晶圓廠采購零部件約100億美元，其中內(nèi)資晶圓廠約4.3億美元。我們認(rèn)為隨著近年來產(chǎn)能高速擴(kuò)張，國內(nèi)晶圓廠采購用作替換的零部件金額也將增長。

設(shè)備廠在制造的過程中既需要采購泵、閥、機(jī)械手等偏標(biāo)準(zhǔn)化的零部件，也需要采購鈑金件、金屬件、腔體等偏定制化的零部件，涉及機(jī)械類、電氣類、機(jī)電一體類等諸多類別。我們結(jié)合SEMI等數(shù)據(jù)測算出2020年全球設(shè)備廠采購零部件金額245-294億美元，其中國內(nèi)設(shè)備廠70-100億元。我們認(rèn)為國內(nèi)設(shè)備廠的崛起，一方面將進(jìn)一步帶動(dòng)國內(nèi)已具有生產(chǎn)能力零部件的需求增長，另一方面為擺脫部分零部件進(jìn)口依賴度較高的局面創(chuàng)造了有利條件。

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/山川）

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