中國(guó)粉體網(wǎng)訊  近日，小編看到這樣一個(gè)問題：超導(dǎo)材料領(lǐng)域中的“MCZ用超導(dǎo)磁體”主要用在半導(dǎo)體單晶硅生產(chǎn)，請(qǐng)問這種超導(dǎo)磁體是生產(chǎn)單晶硅的半導(dǎo)體設(shè)備中的一種零部件？還是一種有耗材屬性的生產(chǎn)半導(dǎo)體材料？

首先我們認(rèn)識(shí)一下什么是MCZ。

MCZ，英文名字為Magnetic Field Applied Czochralski Method，即磁控直拉單晶硅技術(shù)，是一種在傳統(tǒng)直拉(CZ)硅單晶生長(zhǎng)基礎(chǔ)上，外加磁場(chǎng)，從而抑制晶體生長(zhǎng)中產(chǎn)生的熱對(duì)流，有效提高長(zhǎng)晶成功率，降低晶體內(nèi)的氧含量，從而提高晶體質(zhì)量。MCZ是目前國(guó)際上生產(chǎn)300mm以上大尺寸半導(dǎo)體級(jí)單晶硅的最主要方法。

超導(dǎo)磁體是什么？

超導(dǎo)磁體是指低溫下用具有高轉(zhuǎn)變溫度和臨界磁場(chǎng)特別高的第二類超導(dǎo)體制成線圈的一種電磁體。它的主要特點(diǎn)是無導(dǎo)線電阻產(chǎn)生的電損耗，也沒有因鐵芯存在而產(chǎn)生的磁損耗，具有很強(qiáng)的實(shí)用價(jià)值。在工業(yè)和科研上應(yīng)用極廣，但它必須在液態(tài)氦溫度下工作，成本較高。

MCZ用超導(dǎo)磁體

磁控直拉單晶硅用超導(dǎo)磁體，用于對(duì)磁控直拉法制備單晶硅提供背景磁場(chǎng)，是半導(dǎo)體單晶硅長(zhǎng)晶爐一個(gè)重要組件。制冷機(jī)直冷超導(dǎo)磁體的特點(diǎn)是不需要用液氮，這降低了冷卻成本，且磁體體積較小， 操作較為方便。

圖片來源：西安聚能超導(dǎo)磁體

西部超導(dǎo)自主研發(fā)的專門用于磁控直拉單晶硅的大型制冷機(jī)直冷超導(dǎo)磁體實(shí)現(xiàn)了批量化制造，已服務(wù)國(guó)內(nèi)外多家高品質(zhì)300mm單晶硅棒生產(chǎn)企業(yè)，使用效果良好。

參考來源：每日經(jīng)濟(jì)新聞、西部聚能超導(dǎo)磁體科技有限公司、愛企查等。

【1】穆童.超導(dǎo)橫向磁場(chǎng)在大尺寸半導(dǎo)體級(jí)單晶硅長(zhǎng)晶中的應(yīng)用.時(shí)代農(nóng)機(jī).2020.

（中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/星耀）

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