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ITO一般指氧化銦錫，是由一定比例的銦錫氧化物混合而成。因ITO材料同時(shí)具有導(dǎo)電性和透光性，因此ITO靶材被普遍用在各類(lèi)顯示屏成像技術(shù)上。

電阻率和透光率是ITO薄膜的重要性能指標(biāo)，而氧化銦錫粉末質(zhì)量好壞直接決定了其性能指標(biāo)的好壞，因此把控好氧化銦錫粉末的品質(zhì)成為整條工藝流程的重中之重。而評(píng)價(jià)氧化銦錫粉體質(zhì)量好壞的標(biāo)準(zhǔn)主要有粉體粒度、粉體均勻度和粉體雜質(zhì)含量等。生產(chǎn)過(guò)程中需對(duì)上述指標(biāo)進(jìn)行嚴(yán)格把控，稍有偏差便可影響最終ITO薄膜的導(dǎo)電阻率和透光率。

在氧化銦錫制備方法中，除去國(guó)內(nèi)外較為成熟的液相化學(xué)共沉淀法和均相共沉淀法等化學(xué)合成法，機(jī)械研磨法一直是一種簡(jiǎn)單、高效且成本最低的制備方法，但是由于傳統(tǒng)臥式砂磨機(jī)使用超細(xì)研磨介質(zhì)時(shí)極易堵網(wǎng)、卡珠，很難制備納米級(jí)氧化銦錫粉，而且研磨后粉末粒度分布寬、雜質(zhì)引入多，無(wú)法達(dá)到制備高質(zhì)量ITO靶材的技術(shù)指標(biāo)，一直得不到好的發(fā)展和推廣。

叁星飛榮立式無(wú)機(jī)封無(wú)篩網(wǎng)砂磨機(jī)克服了上述難題，使機(jī)械研磨法制備納米ITO成為現(xiàn)實(shí)。該設(shè)備通過(guò)對(duì)機(jī)械結(jié)構(gòu)的全新設(shè)計(jì)和研磨機(jī)理的突破創(chuàng)新，開(kāi)創(chuàng)性的采用立式研磨的方式，取消了困擾臥式機(jī)研磨效率的機(jī)械密封和篩網(wǎng)兩大裝置，首次采用無(wú)軸封、無(wú)篩網(wǎng)的結(jié)構(gòu)方式，大大降低設(shè)備故障率的同時(shí)可使用超細(xì)研磨介質(zhì)，極大地提高了設(shè)備的研磨極限，達(dá)到真正的納米級(jí)；同時(shí)引入分級(jí)分離、分離研磨的機(jī)制，使得設(shè)備絕大部分功作用于大顆粒，使之研磨效率高，產(chǎn)品粒度分布窄，顆粒大小均勻，而且磨腔各部位顆粒受力均勻，也有一定球化處理效果，使得制備的粉體性能更優(yōu)。

ITO研磨前后的SEM照片

叁星飛榮目前已經(jīng)多家國(guó)內(nèi)濺射靶材行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)建立了長(zhǎng)期合作關(guān)系，在ITO粉體研磨領(lǐng)域積累了豐富經(jīng)驗(yàn)，設(shè)備質(zhì)量經(jīng)過(guò)下游廠(chǎng)家的嚴(yán)苛驗(yàn)證，同時(shí)公司可為客戶(hù)定制完整的自動(dòng)化智能研磨解決方案，協(xié)助客戶(hù)打造智能產(chǎn)線(xiàn)、智慧工廠(chǎng)。

某客戶(hù)案例

公司利用自身在砂磨機(jī)行業(yè)的強(qiáng)大優(yōu)勢(shì)，根據(jù)客戶(hù)的工藝路線(xiàn)需求，設(shè)計(jì)超細(xì)粉體材料加工的整個(gè)工藝流程及設(shè)備--“開(kāi)料-計(jì)量-投料-預(yù)混-超細(xì)研磨-干燥-破碎-（煅燒-破碎）-改性-包裝”或其中部分流程的一體化設(shè)計(jì)方案，真正做到“交鑰匙”到客戶(hù)手中。