中國粉體網(wǎng)訊  1月30日，安徽微芯長江半導體材料有限公司嘉定中試基地啟動儀式在中科院上海硅酸鹽研究所舉行。

圖片來源：上海申和熱磁電子有限公司

據(jù)悉，該基地2021年計劃目標為生產(chǎn)4英寸2150片；6英寸240片，驗證片150片，良率達到行業(yè)內(nèi)中上水平；完成公司級研發(fā)課題6項；申請專利20項。

上海申和熱磁電子有限公司/安徽微芯長江半導體材料有限公司董事長賀賢漢表示，將加速中試基地研發(fā)及工藝改善，為銅陵量產(chǎn)工廠順利導產(chǎn)奠定基礎(chǔ)。

去年11月，安徽微芯長江半導體材料有限公司碳化硅項目開工，項目投資13.5億元，以4&6英寸工藝兼容的自動化產(chǎn)線為實施要點，建設(shè)工期4年，達成后預計年產(chǎn)4英寸碳化硅晶圓片3萬片、6英寸12萬片。該項目計劃2021年3季度完成廠房建設(shè)和設(shè)備安裝調(diào)試，2021年12月底完成中試并開始試銷，達成后預計年產(chǎn)4英寸碳化硅晶圓片3萬片、6英寸12萬片。

上海申和熱磁電子有限公司是日本Ferrotec集團在上海的子公司。Ferrotec（中國）始創(chuàng)于1992年，擁有上海、杭州、銀川、銅陵等多地布局。Ferrotec（中國）的產(chǎn)品重點集中在半導體產(chǎn)業(yè)的各相關(guān)領(lǐng)域，可向半導體產(chǎn)業(yè)提供半導體材料、半導體設(shè)備、半導體消耗品以及半導體零部件洗凈服務(wù)等，特別是半導體硅拋光片、氣相沉積碳化硅、硅部件、高純石英制品、高純陶瓷制品和半導體功率基板以及真空腔體等產(chǎn)品。

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/山川）

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