中國粉體網(wǎng)訊 在國內(nèi)半導(dǎo)體材料領(lǐng)域創(chuàng)造多個(gè)“第一”的“國家隊(duì)”——有研半導(dǎo)體材料有限公司,在落戶德州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)建設(shè)生產(chǎn)基地后,日前又創(chuàng)造了山東省的“第一”:全省首根集成電路用8英寸直拉硅單晶拉制成功,該尺寸半導(dǎo)體級(jí)單晶硅片實(shí)現(xiàn)了“山東制造”。這是我省集成電路產(chǎn)業(yè)的一項(xiàng)重要突破,也標(biāo)志著這一在2019年省重點(diǎn)項(xiàng)目名單中位列第一的新舊動(dòng)能轉(zhuǎn)換重大項(xiàng)目取得重要進(jìn)展,即將進(jìn)入量產(chǎn)階段。據(jù)介紹,拉制成的單晶硅棒經(jīng)過處理后,再經(jīng)過切片、倒角、研磨、測試、貼片、拋光、清洗、測試、封裝等多道程序制成硅片,將成為集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中重要的基礎(chǔ)材料。
有研半導(dǎo)體材料有限公司是央企有研集團(tuán)(原北京有色金屬研究總院)旗下核心企業(yè),分別于1992年、1995年、1997年、2002年制成國內(nèi)第一根直徑6英寸、8英寸、12英寸、18英寸直拉硅單晶,在國內(nèi)率先實(shí)現(xiàn)了8英寸硅片的規(guī);a(chǎn)。山東有研半導(dǎo)體材料有限公司集成電路用大尺寸硅材料規(guī);a(chǎn)項(xiàng)目承接北京高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移,一期項(xiàng)目總投資18億元,該項(xiàng)目2018年6月在“央企助力山東新舊動(dòng)能轉(zhuǎn)換座談會(huì)上”簽訂戰(zhàn)略合作協(xié)議,2019年3月動(dòng)工,建設(shè)包括年產(chǎn)276萬片8英寸硅片、180萬片6英寸硅片、300噸12英寸-18英寸大直徑硅單晶生產(chǎn)線。二期12英寸集成電路用大硅片項(xiàng)目也在積極籌備,計(jì)劃明年開工建設(shè)。
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