中國(guó)粉體網(wǎng)訊  半導(dǎo)體和新材料方面的檢測(cè)處于檢測(cè)分析行業(yè)金字塔的最頂端。隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體與材料技術(shù)和科學(xué)的發(fā)展，對(duì)雜質(zhì)和缺陷的分析檢測(cè)方法在準(zhǔn)確性和精度方面的要求越來(lái)越高。檢測(cè)的內(nèi)容也發(fā)生了變化，從材料缺陷宏觀觀察和電學(xué)性質(zhì)的宏觀測(cè)量轉(zhuǎn)移到對(duì)表面、界面及薄膜的組份、結(jié)構(gòu)和特征參數(shù)的細(xì)微研究。從對(duì)雜質(zhì)和缺陷宏觀效果評(píng)價(jià)發(fā)展到對(duì)他們電子結(jié)構(gòu)及相互作用的探索。越來(lái)越多的新儀器、新技術(shù)、新方法被應(yīng)用到新材料與半導(dǎo)體分析檢測(cè)之中。

在第九屆中國(guó)納博會(huì)同期召開(kāi)的“首屆納博會(huì)分析測(cè)試應(yīng)用研討會(huì)”上，國(guó)際領(lǐng)先的分析儀器紛紛亮相，他們依托科研人員獨(dú)創(chuàng)性的分析方法與對(duì)儀器、產(chǎn)品、材料及工藝的深刻理解，為工業(yè)界解決實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中迫在眉睫的問(wèn)題，進(jìn)行了技術(shù)和案例的分享與研討。粉體網(wǎng)小編在研討會(huì)現(xiàn)場(chǎng)為大家直播牛津儀器、日立等儀器供應(yīng)商的部分精彩報(bào)告內(nèi)容。

周海鑫：《日立SEM和FIB在半導(dǎo)體和新材料領(lǐng)域的最新應(yīng)用和進(jìn)展》