中國粉體網(wǎng)訊 硅有晶態(tài)和無定形兩種同素異形體。晶態(tài)硅又分為單晶硅和多晶硅,它們均有金剛石晶格,晶體硬而脆,具有金屬光澤,能導(dǎo)電,但導(dǎo)電率不及金屬,且隨溫度升高而增加,具有半導(dǎo)體性質(zhì)。晶態(tài)硅的熔點1410℃,沸點2355℃,莫氏硬度為7。
單晶硅概念
單晶硅是硅的單晶體。具有基本完整的點陣結(jié)構(gòu)的晶體。不同的方向具有不同的性質(zhì),是一種良好的半導(dǎo)材料。純度要求達到99.9999%,甚至達到99.9999999%以上。具有準金屬的物理性質(zhì),有較弱的導(dǎo)電性,其導(dǎo)電率隨溫度的升高而增加,有顯著的半導(dǎo)電性。超純的單晶硅是本征半導(dǎo)體。
單晶硅主要用于制作半導(dǎo)體元件。半導(dǎo)體元件是制造半導(dǎo)體硅器件的原料,用于制大功率整流器、大功率晶體管、二極管、開關(guān)器件等重要材料。
單晶硅制備
對于純度不是很高的單質(zhì)硅可以用金屬鎂或鋁還原二氧化硅制得,但這是無定形硅。晶形硅則要在電弧爐內(nèi)用碳還原二氧化硅制得,它可以用來生產(chǎn)硅鋼片。用作半導(dǎo)體的超純硅的制法則是先用純度不高的硅與氯化氫的混合物作用,制取三氯氫硅,并用精餾法提純。然后在還原爐內(nèi)用純氫將三氯氫硅還原,硅就沉積在用超純硅制成的細芯上,這樣制得的超純硅稱為多晶硅。把它放在單晶爐內(nèi),就可拉制成單晶硅,可用作半導(dǎo)體材料,它來源豐富,價格便宜,大部分半導(dǎo)體材料都用硅。
單晶硅按晶體生長方法分為直拉法、區(qū)熔法和外延法。
直拉法是現(xiàn)在比較流行的做法,主要的工藝過程是:
加料→融化→縮頸生長→放肩生長→等頸生長→尾部生長
區(qū)熔法時利用熱能在半導(dǎo)體棒料的一端產(chǎn)生一熔區(qū),再熔接單晶籽晶。調(diào)節(jié)溫度使熔區(qū)緩慢地向另一端移動,通過整根棒料,生長成一根單晶,晶向與籽晶相同。
外延法又稱外延生產(chǎn)法,氣相外延生長常使用高頻感應(yīng)爐加熱,襯底置于包有碳化硅、玻璃態(tài)石墨或熱分解石墨的高純石墨加熱體上,然后放進石英反應(yīng)器中。此外,也有采用紅外輻照加熱的。
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