硅微粉（SiO2）是一種無(wú)味、無(wú)毒、無(wú)污染的無(wú)機(jī)非金屬材料。由于其具備高耐溫、高絕緣、高介電、高填充量、導(dǎo)熱系數(shù)低、熱膨脹系數(shù)低、化學(xué)性能穩(wěn)定、硬度大、耐腐蝕等優(yōu)越性能而具有廣闊的發(fā)展前景。硅微粉主要用于大規(guī)模集成電路封裝，在航空、航天、涂料、油漆、粘結(jié)劑、催化劑、醫(yī)藥、精密鑄造、高檔陶瓷、高壓元器件及日用化妝品等高新技術(shù)領(lǐng)域也有應(yīng)用。
近年來(lái)，隨著微電子技術(shù)的迅猛發(fā)展，人們對(duì)微電子元件的質(zhì)量要求越來(lái)越高， 這使得硅微粉的質(zhì)量要求亦越來(lái)越高。因?yàn)槿蚣呻娐罚↖C）封裝材料的97％采用環(huán)氧塑封料（EMC），而在EMC 的組成中，除主料酚醛環(huán)氧樹(shù)脂外，用量最多的就是填料硅微粉，硅微粉填料占環(huán)氧模塑料重量比達(dá)70-90％。除了要求硅微粉超細(xì)、高純度、低放射性元素外，還特別要求其顆粒球形化。
這是因?yàn)?(1)球的表面流動(dòng)性好，與樹(shù)脂攪拌成膜均勻，使得樹(shù)脂的添加量小，硅微粉的填充量達(dá)到最高，因此球形化意味著硅微粉填充率的增加，而硅微粉的填充率越高，其熱膨脹系數(shù)就越小，導(dǎo)熱系數(shù)也越低，也就越接近單晶硅的熱膨脹系數(shù)，由此生產(chǎn)的電子元器件的使用性能也越好；(2)與角形硅微粉制成的塑封料相比，球形的塑封料應(yīng)力集中最小、強(qiáng)度最高，當(dāng)角形粉的塑封料應(yīng)力集中為1 時(shí)，球形粉的應(yīng)力僅為0.6。由此制成的微電子器件成品率高，便于運(yùn)輸、安裝，并且在使用過(guò)程中不易產(chǎn)生機(jī)械損傷；(3)相比于角形硅微粉，球形粉摩擦系數(shù)小，對(duì)模具的磨損小，使得模具的使用壽命可提高一倍。
目前，我國(guó)所需求的高質(zhì)量球形硅微粉大部分還依賴(lài)進(jìn)口，如何制備高純、超細(xì)的球形硅微粉已成為國(guó)內(nèi)粉體研究的熱點(diǎn)。
近年來(lái)，隨著微電子技術(shù)的迅猛發(fā)展，人們對(duì)微電子元件的質(zhì)量要求越來(lái)越高， 這使得硅微粉的質(zhì)量要求亦越來(lái)越高。因?yàn)槿蚣呻娐罚↖C）封裝材料的97％采用環(huán)氧塑封料（EMC），而在EMC 的組成中，除主料酚醛環(huán)氧樹(shù)脂外，用量最多的就是填料硅微粉，硅微粉填料占環(huán)氧模塑料重量比達(dá)70-90％。除了要求硅微粉超細(xì)、高純度、低放射性元素外，還特別要求其顆粒球形化。
這是因?yàn)?(1)球的表面流動(dòng)性好，與樹(shù)脂攪拌成膜均勻，使得樹(shù)脂的添加量小，硅微粉的填充量達(dá)到最高，因此球形化意味著硅微粉填充率的增加，而硅微粉的填充率越高，其熱膨脹系數(shù)就越小，導(dǎo)熱系數(shù)也越低，也就越接近單晶硅的熱膨脹系數(shù)，由此生產(chǎn)的電子元器件的使用性能也越好；(2)與角形硅微粉制成的塑封料相比，球形的塑封料應(yīng)力集中最小、強(qiáng)度最高，當(dāng)角形粉的塑封料應(yīng)力集中為1 時(shí)，球形粉的應(yīng)力僅為0.6。由此制成的微電子器件成品率高，便于運(yùn)輸、安裝，并且在使用過(guò)程中不易產(chǎn)生機(jī)械損傷；(3)相比于角形硅微粉，球形粉摩擦系數(shù)小，對(duì)模具的磨損小，使得模具的使用壽命可提高一倍。
目前，我國(guó)所需求的高質(zhì)量球形硅微粉大部分還依賴(lài)進(jìn)口，如何制備高純、超細(xì)的球形硅微粉已成為國(guó)內(nèi)粉體研究的熱點(diǎn)。
