中國粉體網(wǎng)1月16日訊 受到甲蟲和樹蛙能將足部保持附著在水下樹葉上的啟發(fā),新加坡國立大學石墨烯研究中心研究人員Gao Libo 等開發(fā)出了一種新的方法,能夠讓石墨烯在硅晶圓襯底上進行生長或轉(zhuǎn)移。這一技術(shù)可以幫助石墨烯在光子學和電子學領(lǐng)域得到應(yīng)用,如光電調(diào)制器、晶體管、片上生物傳感器等。
多數(shù)半導體器件需要在硬質(zhì)襯底如硅或石英上進行操作,因此,在硅晶圓上生長石墨烯薄膜并找到轉(zhuǎn)移的方法,對于許多光電應(yīng)用而言非常必要。
研究人員在涂有銅催化劑層的硅襯底上生長石墨烯。在生長完畢之后,將銅刻蝕掉,而石墨烯則被一些毛細管橋固定在原位,這些毛細管橋是由一些泡泡結(jié)構(gòu)形成的,類似于甲蟲和樹蛙附著在水下樹葉上的足部周圍的氣泡。這些毛細管橋幫助石墨烯附著在硅表面,防止在刻蝕銅催化劑的過程中剝離。
多數(shù)半導體器件需要在硬質(zhì)襯底如硅或石英上進行操作,因此,在硅晶圓上生長石墨烯薄膜并找到轉(zhuǎn)移的方法,對于許多光電應(yīng)用而言非常必要。
研究人員在涂有銅催化劑層的硅襯底上生長石墨烯。在生長完畢之后,將銅刻蝕掉,而石墨烯則被一些毛細管橋固定在原位,這些毛細管橋是由一些泡泡結(jié)構(gòu)形成的,類似于甲蟲和樹蛙附著在水下樹葉上的足部周圍的氣泡。這些毛細管橋幫助石墨烯附著在硅表面,防止在刻蝕銅催化劑的過程中剝離。