中國(guó)粉體網(wǎng)5月2日訊納米材料沉積設(shè)備是我國(guó)支持發(fā)展的重大技術(shù)裝備。記者從市經(jīng)信委獲悉，近日，我市的賽瑞達(dá)電子裝備股份公司研制成功一種新的石墨烯納米材料化學(xué)氣相沉積（CVD）設(shè)備，單管一次可產(chǎn)6英寸石墨烯20片，代表國(guó)際先進(jìn)水平。
石墨烯是已知最薄、最堅(jiān)硬、導(dǎo)電性能最好的納米材料，CVD設(shè)備則是制備單層大面積石墨烯納米材料的關(guān)鍵裝備。賽瑞達(dá)公司研制的新一代CVD設(shè)備，采用不銹鋼真空腔室和石英管真空腔室的雙真空管工藝環(huán)境，通過(guò)加長(zhǎng)恒溫區(qū)和改進(jìn)石英舟的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提高了設(shè)備產(chǎn)能，每管產(chǎn)量可達(dá)20片，設(shè)備材料制備過(guò)程無(wú)污染，大大提高了國(guó)內(nèi)納米材料CVD設(shè)備的技術(shù)水平。
石墨烯是已知最薄、最堅(jiān)硬、導(dǎo)電性能最好的納米材料，CVD設(shè)備則是制備單層大面積石墨烯納米材料的關(guān)鍵裝備。賽瑞達(dá)公司研制的新一代CVD設(shè)備，采用不銹鋼真空腔室和石英管真空腔室的雙真空管工藝環(huán)境，通過(guò)加長(zhǎng)恒溫區(qū)和改進(jìn)石英舟的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提高了設(shè)備產(chǎn)能，每管產(chǎn)量可達(dá)20片，設(shè)備材料制備過(guò)程無(wú)污染，大大提高了國(guó)內(nèi)納米材料CVD設(shè)備的技術(shù)水平。
