寧夏西北稀有金屬材料研究院最近研制成功氧化銦錫粉體及氧化銦錫靶材，并投入批量生產(chǎn)。
氧化銦錫靶材是納米級(jí)氧化銦錫粉的燒結(jié)陶瓷體，由于氧化銦錫粉的粒度是納米級(jí)的，經(jīng)過預(yù)處理和成型工藝后，可制成密度高、化學(xué)純度高、質(zhì)地均勻的氧化銦錫靶材。該材料是磁控濺射制備氧化銦錫導(dǎo)電薄膜的原料，這種透明導(dǎo)電薄膜可見光透過率大于85％，紅外光反射率達(dá)90％，導(dǎo)電性能好，有優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性、電極圖形加工性，是一種用途十分廣泛的特種薄膜材料，主要用于液晶顯示（LCD）器件的電極材料。
氧化銦錫靶材是納米級(jí)氧化銦錫粉的燒結(jié)陶瓷體，由于氧化銦錫粉的粒度是納米級(jí)的，經(jīng)過預(yù)處理和成型工藝后，可制成密度高、化學(xué)純度高、質(zhì)地均勻的氧化銦錫靶材。該材料是磁控濺射制備氧化銦錫導(dǎo)電薄膜的原料，這種透明導(dǎo)電薄膜可見光透過率大于85％，紅外光反射率達(dá)90％，導(dǎo)電性能好，有優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性、電極圖形加工性，是一種用途十分廣泛的特種薄膜材料，主要用于液晶顯示（LCD）器件的電極材料。
