鄧輝 副教授
| 專家姓名: | 鄧輝 | 職務(wù): | ||
| 職稱: | 副教授 | 專業(yè)類別: | ||
| 研究方向： | ||||
l 原子及近原子尺度制造: ACSM l 原子選擇刻蝕技術(shù): Atom-selective Etching l 原子遷移制造技術(shù): Atom-migration Manufacturing |
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| 自我介紹： | ||||
南方科技大學(xué)機(jī)械與能源工程系長聘副教授，博士生導(dǎo)師。鄧輝博士2017年加入南方科技大學(xué)后建立"等離子體先進(jìn)制造實(shí)驗(yàn)室-APMLab"。本團(tuán)隊(duì)致力于創(chuàng)新性超精密制造技術(shù)的研究，為制造技術(shù)向原子精度的突破貢獻(xiàn)力量。 實(shí)驗(yàn)室研究聚焦于兩點(diǎn)：其一、以原子尺度物理化學(xué)反應(yīng)為核心技術(shù)手段，開發(fā)非應(yīng)力式原子級(jí)材料去除新方法，實(shí)現(xiàn)微觀尺度的原子級(jí)精度制造；其二、以加工算法為基礎(chǔ)，研究加工過程的量化控制與預(yù)測等關(guān)鍵技術(shù)問題，實(shí)現(xiàn)宏觀尺度的納米級(jí)精度制造。 |
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| 所在單位: | 南方科技大學(xué) | |||
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