1. III族氮化物材料的生長(zhǎng)與材料物理:HVPE法、助熔劑法和氨熱法生長(zhǎng)氮化物的機(jī)理研究,極低缺陷密度材料的制備及物性研究;
2. 納米測(cè)試分析技術(shù)與裝備研制:基于 SPM 平臺(tái)的空間高分辨多參量綜合測(cè)試技術(shù)與裝備研制,基于電子束技術(shù)的原位納米測(cè)試分析技術(shù)與裝備研制;
3. 寬禁帶半導(dǎo)體與超薄二維體系的異質(zhì)結(jié)構(gòu),表面、界面與限域體系中的新物性探索研究。
4. 高質(zhì)量氮化物襯底材料的產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵技術(shù)研究。 |