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中國粉體網(wǎng)訊  半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)幾乎關(guān)系到當今數(shù)字化時代所有與電子相關(guān)的領(lǐng)域，是對國民經(jīng)濟極其重要的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)。我國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)仍存在嚴峻的安全問題。實現(xiàn)精密陶瓷零部件的國產(chǎn)化替代是保障我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈安全穩(wěn)定與自主可控的重要環(huán)節(jié)。

第三屆半導(dǎo)體行業(yè)用陶瓷材料技術(shù)研討會將于 2024年4月25-26日在蘇州舉辦。上海皓越真空設(shè)備有限公司作為參展單位邀請您共同出席。

上海皓越真空設(shè)備有限公司，簡稱“皓越科技”，創(chuàng)立于2009年，是一家集研發(fā)、設(shè)計、生產(chǎn)、銷售為一體的國家級高新技術(shù)企業(yè)；產(chǎn)品涵蓋先進陶瓷及復(fù)合材料設(shè)備、半導(dǎo)體材料設(shè)備、鋰電材料及新能源設(shè)備三大領(lǐng)域。

目前，公司擁有7000㎡現(xiàn)代化標準廠房、成套的加工設(shè)備、完善的質(zhì)量管理體系，同時擁有先進的500㎡設(shè)備展廳以及超過 1500㎡的熱處理研發(fā)中心實驗室，實驗室不僅可供公司內(nèi)部科研探索，同時也可供外部高校、科研所、企業(yè)等做實驗研發(fā)。

產(chǎn)品介紹

1、S2放電等離子燒結(jié)系統(tǒng)

設(shè)備簡介

SPS（Spark Plasma Sintering）放電等離子燒結(jié)系統(tǒng)是當今世界上最先進的燒結(jié)系統(tǒng)之一，是在兩電極間施加脈沖電流和軸向壓力進行粉末燒結(jié)致密化的一種新型快速燒結(jié)技術(shù)。它具有升溫速度快、燒結(jié)時間短、組織結(jié)構(gòu)可控、節(jié)能環(huán)保等鮮明特點，可用來制備金屬材料、陶瓷材料、復(fù)合材料，也可用來制備納米塊體材 料、非晶塊體材料、梯度材料等。

應(yīng)用領(lǐng)域

1.金屬：Fe、Cu、Al、Au、Ag、Ni、Cr、Mo、Sn、Ti、W、Be;

2.陶瓷氧化物：Al2O3、Mulitex ZrO2、Mg、SiO2、TiO、HfO2;

3.碳化物：SiC、B4C、TaC、WC, ZrC, VC;

4.氮化物：Si3N4、TaN、 TiN、 AIN、 ZrN、VN;

5.硼化物：TiB2、HfB2、LaB6、ZrB2、VB2;

6.氟化物:LiF、CaF2、MgF2;

7.金屬陶瓷：Si3N4+Ni、Al2O3+Ni、ZrO2+Ni、Al2O3+Ti、SUS+WC/Co、BN+Fe、WC+Co +Fe ；

8.金屬化合物：TiAl、MoSi2、Si3Zr5、NiAl、NbCo、NbAl   Sm2Co17。

設(shè)備特點

由于SPS過程中施加直流脈沖電流產(chǎn)生放電效應(yīng)而帶來的一些特有現(xiàn)象，有以下幾個特點：

1)可以快速升溫，快速冷卻，大幅縮短生產(chǎn)時間，降低生產(chǎn)成本（升溫速率可達200℃/min）；

2)燒結(jié)溫度低（與熱壓燒結(jié)相比，燒結(jié)溫度可進一步降低）；

3)具有獨特的凈化、活化效應(yīng)（消除粉末顆粒表面吸附氣體，擊穿氧化膜），輕松實現(xiàn)難燒結(jié)材料、多元素材料的燒結(jié)；

4)相比于傳統(tǒng)燒結(jié)工藝，可以在更短的時間內(nèi)得到組織性質(zhì)更均勻、更致密、晶粒尺寸更小的材料；

5)采用我司專業(yè)直流脈沖電源技術(shù)，具有燒結(jié)速度快、穩(wěn)定可靠，節(jié)能效果好；

6)壓力精度高：采用伺服壓力控制系統(tǒng)，壓力精度為 ±3‰；

7)安全性能好：采用 PLC+HMI+PID程序控制，安全可靠；

8)密封性能好：動態(tài)壓頭均采用波紋管密封，確保不漏氣。

2、P2熱壓爐

設(shè)備簡介

真空熱壓爐是在真空（或其它氣氛）條件下將材料熱壓成型的成套設(shè)備，主要采用石墨電阻式加熱，由油缸驅(qū)動的壓頭上下加壓。在高溫下，物料生坯固體顆粒的相互鍵聯(lián)，晶粒長大，空隙（氣孔）和晶界漸趨減少，通過物質(zhì)的傳遞，其總體積收縮，密度增加，最后成為具有某種顯微結(jié)構(gòu)的致密多晶燒結(jié)體，從而將物料壓制成形。

應(yīng)用領(lǐng)域

適用于氧化鈮、碳化硅、碳化硼、氮化硼等陶瓷材料等石墨烯碳纖維、高溫合金金屬粉體材料的高溫加壓燒結(jié)成形及增密粉末冶金、功能陶瓷等新材料的高溫熱成型，也可用于粉末 或壓坯在低于主要組分熔點的溫度下的熱處理，目的在于通過顆粒間的冶金結(jié)合以提高其強度。

技術(shù)特點

1)采用臥式、側(cè)開門結(jié)構(gòu)：裝、卸模具精度高，操作方便；

2)升溫快：升溫速率1~15℃/分鐘（≤1600℃），升溫速率1~5℃/分鐘（＞1600℃）；

3)溫度均勻性好：平均溫度均勻性為±5℃（5點測溫，恒溫區(qū)1000℃保溫1h后檢測）；

4)壓力精度高：采用液壓控制系統(tǒng)，壓力精度為≤±3‰；

5)采用多溫區(qū)控制：預(yù)留兩個測溫孔，以便高溫監(jiān)測使用；

6)安全性能好：采用HMI+PLC+PID程序控溫，安全可靠；

7)密封性能好：動態(tài)壓頭均采用波紋管密封，確保不漏氣。

3、真空爐

設(shè)備簡介

該真空爐是用石墨/鉬/鎢/感應(yīng)作發(fā)熱元件的真空爐，主要應(yīng)用于陶瓷、硬質(zhì)合金、復(fù)合材料等在真空或保護氣氛中高溫燒結(jié)或退火等熱處理，也可以供金屬材料在高真空條件下的高溫熱處理或貴金屬材料的除氣處理。

應(yīng)用領(lǐng)域

如炭/炭剎車盤、炭炭板材、熱壓模具、高溫發(fā)熱體/緊固件、熱場材料石墨制品、碳紙、碳布、石墨烯、碳納米管、導(dǎo)熱膜等。

技術(shù)特點

1.采用臥式、側(cè)開門結(jié)構(gòu)：裝卸物料，操作方便；

2.升溫快：升溫速率1~10℃/分鐘(≤1600℃)，升溫速率1~5℃/分鐘(＞1600℃)；

3.設(shè)計優(yōu)化好：加熱室熱場經(jīng)熱態(tài)模擬計算，具有非常高的溫度均勻性、配置的加熱元件及隔熱層采用模塊化優(yōu)化設(shè)計；

4.采用多溫區(qū)控制：預(yù)留多個測溫孔，以便高溫監(jiān)測使用；

5.溫度均勻性好：平均溫度均勻性為±5℃（5點測溫，恒溫區(qū)1000℃保溫1h后檢測）；

4、G2氣壓爐

設(shè)備簡介

本產(chǎn)品為周期作業(yè)式，加壓燒結(jié)爐系列集真空脫蠟、真空燒結(jié)、 分壓燒結(jié)、加壓燒結(jié)、氣氛控制、冷卻等功能于一體。

為了滿足不同的工藝要求，可以實現(xiàn)在不同壓力和溫度下導(dǎo)入 Ar、H2、CH4、 N2 等氣體或氣體組合。

立式裝料設(shè)計，使裝卸與維修工作更為簡便。整個工藝過程自動控制。

應(yīng)用領(lǐng)域

在高氣壓保護氣氛條件下對陶瓷（如碳化硅、氧化鋯、氧化鋁、氮化硅等）及金屬材料（如硬質(zhì)合金）等進行熱等靜壓燒結(jié)處理，同時也適用大專院校、科研單位進行中試批量生產(chǎn)用。適用于氮化硅陶瓷球、陶瓷刀具等材料在高壓氮氣或氬氣氣氛內(nèi)進行燒結(jié)。有利于增加材料的燒結(jié)密度，提高材料的機械性能。

技術(shù)特點

1.立式設(shè)計，使裝卸與維修工作更為簡便，整個工藝過程自動控制；

2.溫度均勻性好：采用特殊的爐膽結(jié)構(gòu)和加熱器布置，爐溫均勻性好；

3.脫脂效果好：采用特殊結(jié)構(gòu)脫脂箱，密封效果好，脫脂完全對爐內(nèi)元件無污染；

4.功能多：具備真空燒結(jié)、壓力燒結(jié)、脫脂等功能；

5.設(shè)計優(yōu)化好：加熱室熱場經(jīng)熱態(tài)模擬計算，具有非常高的溫度均勻性、配置的加熱元件及隔熱層采用模塊化優(yōu)化設(shè)計；

6.安全性高：具有超溫超壓等故障報警，機械式自動壓力保護，動作互鎖等功能，設(shè)備安全性高；

7.設(shè)備可選擇配置脫脂系統(tǒng)，實現(xiàn)陶瓷制品的脫脂燒結(jié)一次性處理。

5、皓越科技2024年新品推出：G2GR20/P/1多功能一體爐

設(shè)備特點：此設(shè)備有著熱壓燒結(jié)、氣壓燒結(jié)、真空燒結(jié)等三大燒結(jié)工藝為一體的多功能爐（一臺設(shè)備可替代熱壓爐、氣壓爐、真空爐三臺設(shè)備）

敬請期待！